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电子工业中静电危害形式

发布日期:2010年11月12日来源:苏州天华 查看次数:6271

  (1)尘埃吸附。由于静电的力学效应,很容易使工作场所的浮游尘埃吸附于芯片表面。静电对几到几十微米的尘埃吸附作用明显。在现代微电子生产中,芯片的线宽已达到0.1微米。一颗直径几微米尘埃吸附在芯片上,即可造成十几根芯线之间的绝缘强度降低,造成短路并使芯片损坏。

  (2)静电放电(ESD)。静电放电可使集成电路芯片击穿,芯线熔断、漏电流增大而加速老化、电性能参数改变等,静电放电对芯片损坏具有潜在性和缓慢失效性,这种危害更大。

  (3)静电感应。静电感应不但具有静电放电的危害性,而且因其产生的宽频带干扰可对计算机和低电平数字电路发生翻转效应或导致仪器、仪表运行失灵。

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