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无尘等级的划分

发布日期:2011年03月06日来源:苏州天华 查看次数:2947

  无尘等级的划分

  划分依据有Fed-Std-209E 和ISO-14644。目前国内主要参照Fed-Std-209E 标准来定义无尘室的等级。即每立方英尺0.5um尘埃的最多数量                                                   

       Fed-Std-209E

ISO-14644

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